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电子工业专用设备制造：指生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件专用设备的制造，以及电子设备整机装配专用设备的制造。包括对下列电子工业专用设备的制造活动：—电子元件及机电组件生产设备：碳膜、金属膜电阻生产设备，片式电阻、电阻网络生产设备，电感器件、特种变压器生产设备，厚膜电路生产设备，薄膜电路生产设备，电位器生产设备，陶瓷电容器生产设备，薄膜电容器生产设备，铝电解电容器生产设备，钽电解电容器生产设备，敏感元件生产设备，传感器生产设备，压电晶体生产设备，压电陶瓷滤波器生产设备，表面波滤波器生产设备，磁性材料及器件生产设备，电声器件生产设备，开关接插件生产设备，特种线缆加工设备，镍氢电池生产设备，锂离子电池生产设备，太阳能电池片生产设备，其他电子元件及机电组件生—半导体材料、器件及集成电路生产设备：晶体生长及晶圆制备设备、电子材料切片机、电子器件研磨机、电子器件抛光机、硅片倒角机、外延设备；—制版设备；—掩模修补设备；—芯片制造设备：光学光刻设备、电子束光刻机、离子束投影光刻机、邻近X射线光刻机、蚀刻设备、掺杂设备、退火设备、快速热处理设备、薄膜生长设备、化学汽相淀积设备、中测设备；—封装测试设备：晶圆划片设备、贴膜设备、键合设备、封装设备、焊凸形成设备；—检测设备：晶片检测设备、掩膜检查设备、晶圆检测设备、线宽测量设备、终测设备；—电子真空器件生产设备：玻壳生产设备、彩管生产设备、真空开关管生产设备、其他电子真空器件生产设备；—平板显示器件（FPD）生产设备：液晶显示器件（LCD）生产设备、等离子显示器件（PDP）生产设备、VFD生产设备、其他平板显示器件生产设备；—净化设备及类似设备：空气净化设备、高纯气体制取设备、超纯水制取设备、废水处理设备、电磁屏蔽设备、防静电设备、其他净化设备及类似设备；—环境模拟和可靠性设备：力学试验设备、气候环境模拟试验设备、综合试验箱；—电子整机装联设备：有引线元器件整机装配生产设备、表面贴装（SMT）设备；—其他电子工业专用设备。不包括：—真空获得设备制造，列入3441（泵及真空设备制造）；—通用设备制造，列入34大类（通用设备制造业）；—电子专用模具制造，列入3525（模具制造）。

电子工业专用设备制造

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